TRIPOD 52-6DoF

Das TRIPOD 52-6DoF-Bewegungssystem hat sechs Freiheitsgrade und verwendet hochpräzise SMARSLIDE-Piezotische.

Die zentrale Komponente des TRIPOD 52-6Dof ist das parallelkinematische TRIPOD 52-Core. Das Design aus drei radial angeordneten Türmen ermöglicht eine Roll- und Nickbewegung der Endeffektorplatte mit einem Gesamtausschlag von 20° für Rx, 19° für Rx und einer linearen Translation in Z-Richtung von 6 mm. Auf dem TRIPOD 52-Core befindet sich ein Rotationstisch SR-3211, der eine unbegrenzte Rotation um die Z-Achse ermöglicht. Das TRIPOD 52-Core ist vollständig kompatibel mit dem modularen CLS-52 Baukasten und wird auf einer XY-Plattform platziert, die aus zwei linearen Positionern der CLS-52 Serie besteht. Die Bodenplatte ermöglicht eine direkte Montage auf einem optischen Standard-Breadboard mit einem 25-mm-Raster. Die Werte für den Rotationsweg sind für einen Drehpunkt an der Oberfläche der oberen Platte angegeben.

Die Werte für die Drehwinkel sind für einen Drehpunkt an der Oberseite der Endeffektorplatte angegeben.

Die Gesamtabmessungen des kompletten Systems können für verschiedene Posen größer sein. Weitere Informationen finden Sie im CAD-Modell im Download-Bereich.

Die Wiederholgenauigkeit wird etwa 20 mm über der Endeffektorplatte jedes Systems, über den gesamten Verfahrweg und für jeweils einen Freiheitsgrad gemessen. Die Werte können bei kürzeren Verfahrwegen besser sein.

 

 

 

  • Motion System Load Capacity
    Jan 06, 2023
  • Step-file_TRIPOD 52-6DoF
    Feb 15, 2023
  • Technical-Drawing_TRIPOD 52-6DoF
    Mär 02, 2022
  • Load Capacity Datasheet TriPod 52
    Mär 20, 2023

Spezifikationen

PDF-Download
PDF-Download Mechanical
Mechanical
Travel [mm] 31 (X); 31 (Y); 6 (Z)
Travel [°] 20 (Θx); 19 (Θy); 360 (Θz)
Max. Normal Force [N] 3
Max. Horizontal Force [N] 2.5
Dimensions [mm] 90 x 90
Height of Platform above Ground [mm] 79.5
Weight [g] 490
  Closed-Loop
Closed-Loop
Sensor Types SC
Smallest Increment [nm] 1
Smallest Increment [µ°] 3
Uni-Directional Repeatability MCS2 [nm] +/- 50
  Options
Options
Vacuum Options HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar)

Zubehör

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