TRIPOD 92-6DoF

Das größere der beiden TRIPODs 92-6DoF-Bewegungssysteme hat sechs Freiheitsgrade und verwendet hochpräzise SMARSLIDE-Piezotische, die auch mit dem modularen CLS-92 Baukasten voll kompatibel sind.

Die zentrale Komponente des TRIPOD 92-6DoF ist das parallelkinematische TRIPOD 92-Core. Das Design aus drei radial angeordneten Türmen ermöglicht eine Roll- und Nickbewegung der Endeffektorplatte mit einem Gesamtverfahrweg von 31° für Rx, 27° für Ry und einer linearen Translation in Z-Richtung von 11 mm. Auf dem TRIPOD 92-Core befindet sich ein Rotationstisch SR-5714C, der eine unbegrenzte Rotation um die Z-Achse ermöglicht. Das TRIPOD 92-Core ist vollständig kompatibel mit dem modularen CLS-92 Baukasten und wird auf einer XY-Plattform platziert, die aus zwei CLS-92 Linearpositionierern besteht. Die Bodenplatte ermöglicht eine direkte Montage auf einem optischen Standard-Breadboard mit einem 25-mm-Raster.

Die Werte für die Drehwinkel sind für einen Drehpunkt an der Oberseite der Endeffektorplatte angegeben.

Die Gesamtabmessungen des kompletten Systems können für verschiedene Posen größer sein. Weitere Informationen finden Sie im CAD-Modell im Download-Bereich.

Die Wiederholgenauigkeit wird etwa 20 mm über der Endeffektorplatte jedes Systems, über den gesamten Verfahrweg und für jeweils einen Freiheitsgrad gemessen. Die Werte können bei kürzeren Verfahrwegen besser sein.

  • Motion System Load Capacity
    Jan 06, 2023
  • Technical-Drawing_TRIPOD 92-6DoF
    Feb 15, 2023
  • Step-file_TRIPOD 92-6DoF
    Mär 02, 2022
  • Load Capacity Datasheet TriPod 92
    Jan 06, 2023

Spezifikationen

PDF-Download
PDF-Download Mechanical
Mechanical
Travel [mm] 63 (X); 63 (Y); 11 (Z)
Travel [°] 31 (Θx); 27 (Θy); 360 (Θz)
Max. Normal Force [N] 3.5
Max. Horizontal Force [N] 1.75
Dimensions [mm] 142 x 142
Height of Platform above Ground [mm] 94.35
Weight [g] 1430
  Closed-Loop
Closed-Loop
Sensor Types SC
Smallest Increment [nm] 1
Smallest Increment [µ°] 3
Uni-Directional Repeatability MCS2 [nm] +/- 50
  Options
Options
Vacuum Options HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar)
Non-Magnetic Option Yes

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