TRIPOD 92-6DoF
TRIPOD 92-6DoF 的核心部件是 TRIPOD 92-Core 平行运动顶倾平台。其设计有三个径向排列的塔架，可实现顶板的滚动和俯仰运动，Rx 总行程为 31°，Ry 总行程为 27°，Z 方向线性平移 11 毫米。在 TRIPOD 92-Core 的顶部有一个 SR-5714C 旋转平台，可绕 Z 轴进行无限旋转。TRIPOD 92-Core 与 CLS-92 模块化系统完全兼容，可放置在由两个 CLS-92 线性平移平台组成的 XY 平台上。底板可直接安装在带有 25 毫米栅格的标准光学面包板上。
旋转行程值是以顶板表面为支点给出的。
对于不同的姿势，整个系统的整体尺寸可能会更大。有关详细信息，请参阅下载区中的 CAD 模型。
重复性是在每个系统的顶板上方约 20 毫米处，在全行程范围内，针对单个自由度测量的。较短行程范围内的数值可能会更好。
重复性
技术参数
下载规格表
| 下载规格表 | 机械参数 |
|---|---|
| 机械参数 | |
| 行程 [mm] | 63 (X); 63 (Y); 11 (Z) |
| 行程 [°] | 31 (Θx); 27 (Θy); 360 (Θz) |
| 最大法向力 [N] | 3.5 |
| Max. Horizontal Force [N] | 1.75 |
| 尺寸 [mm] | 142 x 142 |
| Height of Platform above Ground [mm] | 94.35 |
| 重量 [g] | 1430 |
| 闭环 | |
| 闭环 | |
| 传感器类型 | SC |
| Smallest Increment [nm] | 1 |
| Smallest Increment [µ°] | 3 |
| 单向重复精度 MCS2 [nm] | +/- 50 |
| 选项 | |
| 选项 | |
| 真空选项 | HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar) |
| 非磁性选项 | Yes |
应用说明
-
Motion System Load Capacity
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