技术参数
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| 下载规格表 | 机械参数 |
|---|---|
| 机械参数 | |
| 自由度 | 2 |
| 使用的位移台 | CLS-5252 |
| 行程 [mm] | 31 (X); 31 (Y); |
| 负载 [N] | 20 |
| 闭环 | |
| 闭环 | |
| 传感器分辨率 MCS2 [nm] | 1 (S) |
| Breadboard Mount | |
| Breadboard Mount | |
| 尺寸 [mm] | 90 x 90 x 34 (L x W x H) |
| Height of Platform above Ground [mm] | 34 |
| Direct Mount | |
| Direct Mount | |
| 尺寸 [mm] | 52 x 52 x 28 (L x W x H) |
| Height of Platform above Ground [mm] | 28 |
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