技术参数
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| 下载规格表 | 机械参数 |
|---|---|
| 机械参数 | |
| 自由度 | 3 |
| 使用的位移台 | CLS-5252 |
| 行程 [mm] | 31 (X); 31 (Y); 31 (Z) |
| 负载 [N] | 1.5 |
| 闭环 | |
| 闭环 | |
| 传感器分辨率 MCS2 [nm] | 1 (S) |
| Breadboard Mount | |
| Breadboard Mount | |
| 尺寸 [mm] | 65 x 65 x 59 (L x W x H) |
| Center of vert. Stage above Ground [mm] | 62 (46.5 … 77.5) |
| Direct Mount | |
| Direct Mount | |
| 尺寸 [mm] | 79 x 63.5 x 89.5 (L x W x H) |
| Center of vert. Stage above Ground [mm] | 56 (40.5 … 71.5) |
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