L01

Sensorkopf mit linienfokussiertem Strahl für zylindrische Ziele.

Der L01 ist ein Sensorkopf für das PICOSCALE Interferometer. Der Zielstrahl wird mit einer Zylinderlinse entlang nur einer Achse fokussiert, so dass ein Linienfokus erzeugt wird. Auf diese Weise hat der Sensorkopf einen relativ großen Winkelarbeitsbereich entlang der fokussierten Achse, während er entlang der orthogonalen Achse einen großen Durchmesser hat. Typischerweise werden diese Sensorköpfe verwendet, um exzentrische Bewegungen von rotierenden zylindrischen Objekten zu messen und unempfindlich gegen deren Taumeln, d.h. Kippen der Rotationsachse, zu sein.

 

Spezifikationen

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Sensor Heads
Beam Geometry Line-focused
Focal Distance [mm] 30 or 50
Beam Waist Diameter [µm] 50 x 1590
Working Distance [mm] ± 10 (around focus)
Angular Working Range [°] ± 1.3 along focused axis
Environmental Compatibility Air, HV, UHV, Rad
Typical Targets Cylindrical Samples
  Mechanical
Mechanical
Dimensions [mm] 9 x 26 (Ø x L)

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  • STEP-File: L01 sensor head
    Okt 30, 2019

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