Messung lateraler Schwingungen in Vollsilizium-Lautsprechern
Wenn MEMS in einem Siliziumgehäuse gekapselt sind, ist es unmöglich, ihre dynamische Leistungsfähigkeit mit konventionellen optischen Methoden zu bewerten, ohne sie zu öffnen. Über die interferometrische Messung von Out-of-Plane-Schwingungen hinaus ermöglicht das PICOSCALE Vibrometer die Bildgebung von In-Plane-Schwingungen gekapselter Geräte mit infrarot-konfokaler Mikroskopie.
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PICOSCALE Vibrometer - Controller
Das PICOSCALE Vibrometer besteht aus zwei Controllern, dem Systemcontroller und dem Tischcontroller:
Der Systemcontroller enthält alle notwendigen