Messung von MEMS-Schwingungen durch eine Siliziumverkapselung
Wenn MEMS in einem Siliziumgehäuse gekapselt sind, ist es unmöglich, konventionelle optische Messmethoden einzusetzen, um ihre dynamische Leistungsfähigkeit zu bewerten, ohne sie zu öffnen. Das PICOSCALE Vibrometer nutzt einen Infrarot-Messlaser mit einem konfokalen Detektionsschema, das den Weg eröffnet, die Dynamik eines Bewegungssensors durch dessen Siliziumgehäuse hindurch zu analysieren.
Ähnliche Produkte
PICOSCALE Vibrometer - Controller
Das PICOSCALE Vibrometer besteht aus zwei Controllern, dem Systemcontroller und dem Tischcontroller:
Der Systemcontroller enthält alle notwendigen